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基于星像特征的天文光学望远镜准直方法研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2021
作者:  李博(博士生)
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2021/09/22
提高钠导星效率方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  刘杰
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2019/09/23
相干激光通信光学系统偏振像差研究 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 11, 页码: 47-54
作者:  杨宇飞;  颜昌翔;  胡春晖;  吴从均
收藏  |  浏览/下载:25/0  |  提交时间:2017/09/17
高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  沈丽娜
收藏  |  浏览/下载:143/0  |  提交时间:2016/11/28
Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者:  Li SK(李思坤);  Zhang H(张恒);  Meng ZJ(孟泽江);  Zhu BE(诸波尔);  Yan GY(闫观勇)
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2017/12/25
Aberration Measurement Method for Hyper-NA Lithographic Projection Lens 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 112002
作者:  Zhu BE(诸波尔);  Wang XC(王向朝);  Li SK(李思坤);  Yan GY(闫观勇);  Shen LN(沈丽娜)
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2017/12/25
采用空间像降维的光刻投影物镜偏振像差原位检测方法 会议论文
作者:  孟泽江;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2017/12/25
Aberration Measurement Method for Hyper-NA Lithographic Projection Lens 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 112002
作者:  Li SK(李思坤);  Wang XC(王向朝);  Zhu BE(诸波尔);  Duan LF(段立峰);  Shen LN(沈丽娜)
收藏  |  浏览/下载:25/0  |  提交时间:2017/12/25
采用空间像降维的光刻投影物镜偏振像差原位检测方法 会议论文
作者:  王向朝;  李思坤;  孟泽江
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2017/12/25
Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者:  Yan GY(闫观勇);  Shen LN(沈丽娜);  Wang XC(王向朝);  Li SK(李思坤);  Zhu BE(诸波尔)
收藏  |  浏览/下载:35/0  |  提交时间:2017/12/25


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