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上海光学精密机械研... [21]
内容类型
期刊论文 [15]
会议论文 [6]
发表日期
2017 [2]
2016 [4]
2015 [4]
2014 [3]
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Programmable uniformity correction by using plug-in finger arrays in advanced lithography system
期刊论文
Opt. Commun., 2017, 卷号: 392, 页码: 77
作者:
Yang, Baoxi
;
Huang, Huijie
;
Zeng, Aijun
;
Zhu, Jing
;
Zhang, Yunbo
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2017/12/25
Programmable uniformity correction by using plug-in finger arrays in advanced lithography system
期刊论文
Opt. Commun., 2017, 卷号: 392, 页码: 77
作者:
Zhang, Yunbo
;
Zhu, Jing
;
Yang, Baoxi
;
Zeng, Aijun
;
Huang, Huijie
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2017/12/25
Imaging ellipsometer with large field of view
会议论文
作者:
Huang, Huijie
;
Hu, Shiyu
;
Yuan, Qiao
;
Gu, Liyuan
;
Cheng, Weilin
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2017/12/25
Imaging ellipsometer with large field of view
会议论文
作者:
Gu, Liyuan
;
Huang, Huijie
;
He, Hongbo
;
Zeng, Aijun
;
Hu, Shiyu
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2017/12/25
Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography
期刊论文
J. Opt. Technol., 2016, 卷号: 83, 期号: 3, 页码: 154
作者:
Chen, Ming
;
Huang, Huijie
;
Yang, Baoxi
;
Zhu, Jing
;
Zeng, Aijun
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2017/12/25
Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography
期刊论文
J. Opt. Technol., 2016, 卷号: 83, 期号: 3, 页码: 154
作者:
Huang, Huijie
;
Chen, Ming
;
Zhang, Fang
;
Zeng, Aijun
;
Zhu, Jing
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2017/12/25
Single-band upconversion nanoprobes for multiplexed simultaneous in situ molecular mapping of cancer biomarkers
期刊论文
nat. commun., 2015, 卷号: 6, 页码: 6938
作者:
Zhou, Lei
;
Wang, Rui
;
Yao, Chi
;
Li, Xiaomin
;
Wang, Chengli
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浏览/下载:46/0
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提交时间:2016/11/28
Large-area three-dimensional profilometer based on digital micromirror device
期刊论文
j. opt. technol., 2015, 卷号: 82, 期号: 2, 页码: 102
作者:
Zhang, Yunbo
;
Zeng, Aijun
;
Huang, Huijie
;
Hou, Wenmei
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2016/11/28
A method for measuring the base angle of axicon lens based on chromatic dispersion
期刊论文
opt. commun., 2015, 卷号: 346, 页码: 69
作者:
Zhang, Yunbo
;
Zeng, Aijun
;
Wang, Ying
;
Huang, Huijie
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浏览/下载:39/0
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提交时间:2016/11/28
Fabrication error analysis for diffractive optical elements used in a lithography illumination system
期刊论文
opt. eng., 2015, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 45102
作者:
Wang, Jian
;
Zhang, Fang
;
Song, Qiang
;
Zeng, Aijun
;
Zhu, Jing
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2016/11/28
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