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科研机构
半导体研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2010 [1]
2007 [1]
学科主题
微电子学 [2]
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Influence of nitrogen implantation into the buried oxide on the radiation hardness of silicon-on-insulator wafers
期刊论文
chinese physics b, 2010, 卷号: 19, 期号: 10, 页码: art. no. 106106
Tang HM (Tang Hai-Ma)
;
Zheng ZS (Zheng Zhong-Shan)
;
Zhang EX (Zhang En-Xia)
;
Yu F (Yu Fang)
;
Li N (Li Ning)
;
Wang NJ (Wang Ning-Juan)
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提交时间:2010/11/02
silicon-on-insulator wafers
radiation hardness
nitrogen implantation
Effect of implantation of nitrogen into SIMOX buried oxide on its fixed positive charge density
期刊论文
acta physica sinica, 2007, 卷号: 56, 期号: 9, 页码: 5446-5451
Zheng, ZS (Zheng Zhong-Shan)
;
Zhang, EX (Zhang En-Xia)
;
Liu, ZL (Liu Zhong-Li)
;
Zhang, ZX (Zhang Zheng-Xuan)
;
Li, N (Li Ning)
;
Li, GH (Li Guo-Hua)
收藏
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2010/03/29
SIMOX
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