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Si(001)衬底上APCVD生长3C-SiC薄膜的微孪晶及含量 期刊论文
中国科学. A辑,数学, 2001, 卷号: 31, 期号: 3, 页码: 242
作者:  王玉田
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2010/11/23


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