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EFFECT OF ELECTROSTATIC RESISTANCE ON THE SHUTTLE OF MICRORESONATOR 期刊论文
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING, 2008, 卷号: 21, 页码: 55-58
作者:  Shen Xuejin[1];  Hou Licheng[2]
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硅微机械动平板表面粘附阻力 期刊论文
润滑与密封, 2006, 页码: 64-67
作者:  Shen, Xuejin[1];  Hou, Licheng[2];  Liu, Jin[3]
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