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科研机构
上海大学 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2008 [1]
2006 [1]
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EFFECT OF ELECTROSTATIC RESISTANCE ON THE SHUTTLE OF MICRORESONATOR
期刊论文
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING, 2008, 卷号: 21, 页码: 55-58
作者:
Shen Xuejin[1]
;
Hou Licheng[2]
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提交时间:2019/05/06
Microresonator
Microtribology
Electrostatic resistance
Surface roughness
硅微机械动平板表面粘附阻力
期刊论文
润滑与密封, 2006, 页码: 64-67
作者:
Shen, Xuejin[1]
;
Hou, Licheng[2]
;
Liu, Jin[3]
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/05/10
微机械
微间隙平板
表面力
表面粘附阻力
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