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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：中国科学院大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Simulation of plastic deformation of sculptured diaphragm silicon microstructure 期刊论文 Microelectronic engineering, 2016, 卷号: 152, 页码: 26-34 作者:  Jiang, Wanli;  Xu, Dehui;  Yao, Shaokang;  Xiong, Bin;  Wang, Yuelin 收藏  |  浏览/下载：102/0  |  提交时间：2019/05/09 Plastic deformation  Microstructure yield criterion  Iterative finite element simulation   Wafer-level vacuum packaging of micromachined thermoelectric ir sensors 期刊论文 Ieee transactions on advanced packaging, 2010, 卷号: 33, 期号: 4, 页码: 904-911 作者:  Xu, Dehui;  Jing, Errong;  Xiong, Bin;  Wang, Yuelin 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2019/05/10 Au-au thermocompression bonding  Infrared sensor  Microelectromechanical systems (mems)  Optical filter  Thermoelectric  Vacuum package  Wafer-level package