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金刚石簿膜淀积过程中微波等离子体特性 期刊论文
核聚变与等离子体物理, 1992, 卷号: 012, 期号: 002, 页码: 124
作者:  王春林;  高克林;  项志遴;  彭定坤;  孟广耀
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