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一种阻止金属共晶键合合金外溢的方法及一种器件 专利
专利号: CN201610228764.5, 申请日期: 2018-07-31, 公开日期: 2016-07-13
作者:  张乐民;  云世昌;  焦斌斌;  孔延梅;  刘瑞文
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Study of cavity effect in micro-Pirani gauge chamber with improved sensitivity for high vacuum regime 期刊论文
AIP ADVANCE, 2018
作者:  
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Investigation and optimization of Pirani Vacuum Gauges with Monocrystal silicon heaters and heat sinks 期刊论文
Journal of Microelectromechanical Systems, 2017
作者:  Zhang LM(张乐民);  Jiao BB(焦斌斌);  Yun SC(云世昌);  Kong YM(孔延梅);  Chen DP(陈大鹏)
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2018/07/09
A CMOS Compatible MEMS Pirani Vacuum Gauge with Monocrystal Silicon Heaters and Heat Sinks 期刊论文
CHIN.PHYS.LETT, 2017
作者:  Zhang LM(张乐民);  Jiao BB(焦斌斌);  Yun SC(云世昌);  Kong YM(孔延梅);  Chen DP(陈大鹏)
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2018/07/09
An electrical test method for quality detecting of wafer level eutetic bonding 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2017
作者:  Zhang LM(张乐民);  Jiao BB(焦斌斌);  Kong YM(孔延梅);  Yun SC(云世昌);  Chen DP(陈大鹏)
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2018/07/09
应力匹配的悬臂梁结构及其制造方法 专利
专利号: CN201310249847.9, 申请日期: 2016-07-06, 公开日期: 2014-12-24
作者:  刘瑞文;  李志刚;  孔延梅;  陈大鹏;  焦斌斌
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2017/05/27
一种液晶滤波方法、液晶滤波器和空间滤波系统 专利
专利号: CN201210593957.2, 申请日期: 2016-05-04, 公开日期: 2014-07-09
作者:  孔延梅;  陈大鹏;  焦斌斌
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2017/05/26
应力匹配的悬臂梁结构及其制造方法 专利
专利号: US9260297, 申请日期: 2016-02-16, 公开日期: 2014-12-24
作者:  刘瑞文;  李志刚;  孔延梅;  陈大鹏;  焦斌斌
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一种可见-红外双通摄像机 专利
专利号: CN201110129075.6, 申请日期: 2015-07-15, 公开日期: 2012-11-21
作者:  陈大鹏;  孔延梅;  焦斌斌
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一种路面状态测定方法及装置 专利
申请日期: 2012-06-25,
作者:  陶圣;  刘志麟;  焦斌斌;  孔延梅;  王允韬
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