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科研机构
光电技术研究所 [10]
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期刊论文 [9]
会议论文 [1]
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2015 [3]
2014 [6]
2012 [1]
学科主题
Alignment ... [2]
Image proc... [1]
Interferom... [1]
Lithograph... [1]
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Moire-Based Absolute Interferometry With Large Measurement Range in Wafer-Mask Alignment
期刊论文
IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 卷号: 27, 期号: 4
作者:
Di, Chengliang
;
Yan, Wei
;
Hu, Song
;
Yin, Didi
;
Ma, Chifei
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2015/07/10
Moire fringes
measurement range
wafer-mask alignment
lithography
Moiré-based absolute interferometry with large measurement range in wafer-mask alignment
期刊论文
IEEE Photonics Technology Letters, 2015, 卷号: 27, 期号: 4, 页码: 435-438
作者:
Di, Chengliang
;
Yan, Wei
;
Hu, Song
;
Yin, Didi
;
Ma, Chifei
收藏
  |  
浏览/下载:24/0
  |  
提交时间:2016/11/23
Moiré-based absolute interferometry with large measurement range in wafer-mask alignment
期刊论文
IEEE Photonics Technology Letters, 2015, 卷号: 27, 期号: 4, 页码: 435-438
作者:
Di, Chengliang
;
Yan, Wei
;
Hu, Song
;
Yin, Didi
;
Ma, Chifei
收藏
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浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2016/11/22
A Moire-Based Four-Channel Focusing and Leveling Scheme for Projection Lithography
期刊论文
IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 4
作者:
Di, Chengliang
;
Yan, Wei
;
Hu, Song
;
Li, Yanli
;
Yin, Didi
收藏
  |  
浏览/下载:24/0
  |  
提交时间:2015/07/10
Moire fringes
focusing and leveling
fringe analysis
lithography
Interferometric Scheme for High-Sensitivity Coaxial Focusing in Projection Lithography
期刊论文
IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 3
作者:
Di, Chengliang
;
Hu, Song
;
Yan, Wei
;
Li, Yanli
;
Li, Guang
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2015/07/10
Interferometry
metrology
fringe analysis
phase unwrapping
lithography
A modified alignment method based on four-quadrant-grating moire for proximity lithography
期刊论文
OPTIK, 2014, 卷号: 125, 期号: 17, 页码: 4868-4872
作者:
Di, Chengliang
;
Zhu, Jiangping
;
Yan, Wei
;
Hu, Song
收藏
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浏览/下载:16/0
  |  
提交时间:2015/07/10
Coarse alignment
Fine alignment
Image processing
Moire fringe
A moiré-based four-channel focusing and leveling scheme for projection lithography
期刊论文
IEEE Photonics Journal, 2014, 卷号: 6, 期号: 4, 页码: 6842663
作者:
Di, Chengliang
;
Yan, Wei
;
Hu, Song
;
Li, Yanli
;
Yin, Didi
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2016/11/23
Interferometric Scheme for High-Sensitivity Coaxial Focusing in Projection Lithography
期刊论文
IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 3
作者:
Di, Chengliang
;
Hu, Song
;
Yan, Wei
;
Li, Yanli
;
Li, Guang
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/11/23
A modified alignment method based on four-quadrant-grating moiré for proximity lithography
期刊论文
Optik, 2014, 卷号: 125, 期号: 17, 页码: 4868-4872
作者:
Di, Chengliang
;
Zhu, Jiangping
;
Yan, Wei
;
Hu, Song
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2016/11/23
Technology of focus detection for 193nm projection lithographic tool
会议论文
Proceedings of SPIE: 6th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Design, Manufacturing, and Testing of Smart Structures, Micro- and Nano-Optical Devices, and Systems, 2012
作者:
Di, Chengliang
;
Yan, Wei
;
Hu, Song
;
Xu, Feng
;
Li, Jinglong
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2016/11/24
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