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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：数学与系统科学研究院    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Optimization on benzocyclobutene-based CMUT fabrication with an inverse structure 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2018, 卷号: 281, 页码: 1-8 作者:  Li, Zhenhao;  Na, Shuai;  Chen, Albert I. H.;  Wong, Lawrence L. P.;  Sun, Zhendong 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2018/11/16 Capacitive micromachined ultrasonic transducer  Adhesive wafer bonding  Photosensitive benzocyclobutene  Resonator   Development of a Novel CMUT-Based Concentric Dual-Element Ultrasonic Transducer: Design, Fabrication, and Characterization 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 538-546 作者:  Zheng, Zhou;  Na, Shuai;  Chen, Albert I. -Hsiang;  Li, Zhenhao;  Wong, Lawrence L. P. 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2018/07/30 Annular element  capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT)  concentric  deep reactive-ion etching  dual-element  hybrid transducer   Optimization on benzocyclobutene-based CMUT fabrication with an inverse structure 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2018, 卷号: 281, 页码: 1 作者:  Li, Zhenhao;  Na, Shuai;  Chen, Albert I. H.;  Wong, Lawrence L. P.;  Sun, Zhendong 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/12/31 Development of a Novel CMUT-Based Concentric Dual-Element Ultrasonic Transducer: Design, Fabrication, and Characterization 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 538 作者:  Zheng, Zhou;  Na, Shuai;  Chen, Albert I. -Hsiang;  Li, Zhenhao;  Wong, Lawrence L. P. 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/31