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长春光学精密机械与... [15]
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期刊论文 [10]
专利 [4]
会议论文 [1]
发表日期
2020 [1]
2019 [1]
2018 [2]
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2015 [1]
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专题:长春光学精密机械与物理研究所
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应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试
期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 344-353
作者:
李华东
;
齐克奇
;
石强
;
王少鑫
;
王智
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2021/07/06
精密驱动
尺蠖运动
压电驱动器
驱动力
位移分辨率
电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究
期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 455-462
作者:
王少鑫
;
齐克奇
;
王玉坤
;
王智
;
陈立恒
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浏览/下载:0/0
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提交时间:2020/08/24
惯性传感器
敏感结构
电极不对称
量程
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:
Fang, Chao
;
Xiang, Yang
;
Qi, Keqi
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/09/17
Aberrations
Crosstalk
Interferometry
Measurement
Photolithography
Shearing
Wave interference
Wavefronts
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量
期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:
方超
;
向阳
;
齐克奇
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/09/17
测量
光栅
相位
干涉
串扰
重复精度
并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量
期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 1874-1881
作者:
齐克奇
;
向阳
;
丁亚林
;
方超
;
周振平
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2018/04/09
并联式
自解耦
微位移平台
嵌套式平行导向机构
有限元方法
Snake-search algorithm for stereo vision reconstruction via monocular system
会议论文
5th Annual IEEE International Conference on Cyber Technology in Automation, IEEE-CYBER 2015
作者:
Zhang, Yang
;
Leng, Yuquan
;
He, Xu
;
Qi, Keqi
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2016/07/18
光刻物镜波像差检测球面波发生装置的研制
期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 7, 页码: 1518-1524
齐克奇
;
向阳
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2015/04/17
光刻物镜
波像差
剪切干涉
针孔
有限元方法
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计
期刊论文
电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104
于长淞
;
齐克奇
;
张春雷
;
向阳
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2014/03/07
剪切干涉
光栅移相
压电陶瓷
有限元
光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制
期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1452-1455
齐克奇
;
向阳
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2013/03/11
光刻投影物镜
波像差
相移测量
桥式放大机构
有限元
光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制
期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 46-48+45
齐克奇
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2013/03/11
光刻物镜波像差检测平台
针孔定位
自解耦
有限元方法
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