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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：兰州大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Y掺杂Al2O3高k栅介质薄膜的制备及性能研究 期刊论文 物理学报, 2005, 期号: 12, 页码: 6 作者:   收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/04/27 高k栅介质  掺杂氧化铝  射频反应溅射