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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：西安交通大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Study of cavity effect in micro-Pirani gauge chamber with improved sensitivity for high vacuum regime 期刊论文 AIP ADVANCES, 2018, 卷号: 8 作者:  Zhang, Guohe;  Lai, Junhua;  Kong, Yanmei;  Jiao, Binbin;  Yun, Shichang 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/11/19 Research on ion implantation in MEMS device fabrication by theory, simulation and experiments 期刊论文 INTERNATIONAL JOURNAL OF MODERN PHYSICS B, 2018, 卷号: 32 作者:  Bai, Minyu;  Zhao, Yulong;  Jiao, Binbin;  Zhu, Lingjian;  Zhang, Guodong 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/11/26 fabrication  Ion implantation  microelectromechanical systems (MEMS)   A novel easy-driving and easy-signal-processing electrostatic field sensor based on a piezoresistance and polyethylene terephthalate lever 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2017, 卷号: 27 作者:  Bai, Minyu;  Zhao, Yulong;  Jiao, Binbin;  Zhai, Xiaoshe;  Geng, Yingsan 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/11/26 electrostatic field sensor  compact structure  PET lever  piezoresistance