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北京大学 [3]
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其他 [2]
期刊论文 [1]
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2006 [2]
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Modifying residual stress and stress gradient in LPCVD Si3N4 film with ion implantation
其他
2006-01-01
Shi, Wendian
;
Zhang, Haixia
;
Zhang, Guobing
;
Li, Zhihong
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提交时间:2015/11/12
LPCVD Si3N4
residual stress
stress gradient
ion implantation
thermal annealing
INTERNAL-STRESS
THIN-FILMS
Modifying residual stress and stress gradient in LPCVD Si3N4 film with ion implantation
期刊论文
Sensors and Actuators, A: Physical, 2006
Shi, Wendian
;
Zhang, Haixia
;
Zhang, Guobing
;
Li, Zhihong
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2017/12/03
Modifying residual stress and stress gradient in LPCVD SI3N 4 film with ion implantation
其他
2005-01-01
Shi, Wendian
;
Zhang, Haixia
;
Wang, Shasha
;
Zhang, Guobing
;
Li, Zhihong
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/13
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