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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Investigation and optimization of Pirani Vacuum Gauges with Monocrystal silicon heaters and heat sinks 期刊论文 Journal of Microelectromechanical Systems, 2017 作者:  Zhang LM(张乐民);  Jiao BB(焦斌斌);  Yun SC(云世昌);  Kong YM(孔延梅);  Chen DP(陈大鹏) 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2018/07/09 A CMOS Compatible MEMS Pirani Vacuum Gauge with Monocrystal Silicon Heaters and Heat Sinks 期刊论文 CHIN.PHYS.LETT, 2017 作者:  Zhang LM(张乐民);  Jiao BB(焦斌斌);  Yun SC(云世昌);  Kong YM(孔延梅);  Chen DP(陈大鹏) 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2018/07/09 An electrical test method for quality detecting of wafer level eutetic bonding 期刊论文 Journal of Micromechanics and Microengineering, 2017 作者:  Zhang LM(张乐民);  Jiao BB(焦斌斌);  Kong YM(孔延梅);  Yun SC(云世昌);  Chen DP(陈大鹏) 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2018/07/09