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22-14纳米集成电路器件工艺先导技术 成果
2017
主要完成人:  张卫;  殷华湘;  叶甜春;  徐秋霞;  霍宗亮
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22纳米集成电路核心工艺 成果
2016
主要完成人:  张建勇;  霍宗亮;  李俊峰;  殷华湘;  王文武
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