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微电子研究所 [7]
内容类型
外文期刊 [7]
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内容类型:外文期刊
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Surface Treatment of Flat Panel Display Substrates by a Uniform Large Area Glow Cold Plasma Tunnel at Atmospheric Pressure
外文期刊
2009
作者:
Wan, J
;
Jia, XH
;
Zhao, LL
;
Wang, S
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2010/11/26
Corona Discharge
Jet
Photoresist
Atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapor deposition of borophosphosilicate glass films
外文期刊
2008
作者:
Yin, MH
;
Zhao, LL
;
Xu, XY
;
Wang, SG
收藏
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浏览/下载:14/0
  |  
提交时间:2010/11/26
Discharge
Sio2
Teos
Cvd
Deposition of SiOx films with a capacitively-coupled plasma at atmospheric pressure
外文期刊
2007
作者:
Xu, XY
;
Li, L
;
Wang, SG
;
Zhao, LL
;
Ye, TC
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2010/11/26
Chemical-vapor-deposition
Silicon Dioxide Films
Discharge
Jet
Photoresist etching by atmospheric pressure uniform-glow plasma
外文期刊
2007
作者:
Wang, SG
;
Xu, XY
;
Zhao, LL
;
Ye, TC
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2010/11/26
Discharge
Temperature comparison for non-equilibrium atmospheric pressure Ar and He plasma jets
外文期刊
2007
作者:
Duan, XJ
;
Xu, XY
;
Zhao, LL
;
Wang, SG
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2010/11/26
Dielectric-barrier
Argon
Discharges
Deposition
Basic characteristics of an atmospheric pressure rf generated plasma jet
外文期刊
2004
作者:
Wang, SG
;
Li, HJ
;
Ye, TC
;
Zhao, LL
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2010/11/26
Silicon Dioxide Films
Dielectric-barrier
Deposition
Discharge
Study on an atmospheric pressure plasma jet and its application in etching photo-resistant materials
外文期刊
2004
作者:
Li, HJ
;
Wang, SG
;
Zhao, LL
;
Ye, TC
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2010/11/26
Silicon Dioxide Films
Deposition
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