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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A bulk micromachined lateral axis gyroscope with vertical sensing comb capacitors 其他 2005-01-01 Yang, ZC; Wang, CS; Yan, GZ; Hao, YL; Wu, GY 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 gyroscope  vertical comb  bulk micromachined   Design and simulation of a novel MEMS fluidic angular rate gyroscope 其他 2004-01-01 Zhou, J; Yang, K; Yan, GZ 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/16 fluidic angular rate gyroscope  MEMS  micromachined  finite element method1   An improved method employed in anodic bonded glass-silicon gyroscopes to avoid footing effect in DRIE 其他 2004-01-01 Fan, J; Zhu, Y; Yang, ZC; Zhou, J; Liu, XS; Yan, GZ 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 footing effect  DRIE lag effect  glass-silicon anodic bonding  SGADER  BACKSIDE DAMAGE   Fabrication of ultra deep high aspect ratio electrical isolation trenches using DRIE and dielectric refill 其他 2004-01-01 Zhu, Y; Yang, GZ; Wang, CW; Yang, ZC; Fan, J; Zhou, J; Wang, YY 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13 deep reactive ion etching (DRIE)  electrical isolation trenches  bulk microstructures  monolithic integration  MEMS   The research on MEMS fang-bar fluidic angular rate sensor 其他 2004-01-01 Yang, K; Zhou, J; Yan, GZ 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 fluidic angular rate sensor  Fang-Bar fluidic diode  fluid resistance  fluid inductance   Design and fabrication of a torsional Z-axis capacitive accelerometer with novel comb capacitor 其他 2004-01-01 Yang, ZC; Yan, GZ; Hao, YL; Wu, GY 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 accelerometer  comb capacitor  bulk micro-machined  SENSORS   Growth and surface analysis of BaTiO3 ultrathin film fabricated by laser molecular beam epitaxy 其他 2000-01-01 Cui, DF; Chen, ZH; Zhao, T; Chen, F; Lu, HB; Zhou, YL; Yang, GZ; Huang, HZ; Zhang, HX 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/11 laser MBE  BaTiO3 ultrathin film  ARXPS  terminated surface  SRTIO3  SPECTROSCOPY  SUBSTRATE