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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 3D simulation of profile evolution in silicon DRIE 其他 2004-01-01 Zhou, Rongchun; Zhang, Haixia; Hao, Yilong; Wang, Yangyuan 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 Simulation of profile evolution in etching-polymerization alternation in drie of silicon with SF6/C4F8 其他 2003-01-01 Zhou, Rongchun; Zhang, Haixia; Hao, Yilong; Zhang, Dacheng; Wang, Yangyuan 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/13