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一种将CMOS电路与体硅MEMS单片集成的方法 其他
2005-01-01
王成伟; 闫桂珍; 朱泳; 范杰; 刘雪松; 王阳元
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一种超深隔离槽开口形状的控制方法及产品 其他
2005-01-01
朱泳; 闫桂珍; 范杰; 王成伟; 王阳元
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