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热丝辅助MW-ECRCVD制备a-Si:H薄膜及硅-氢键合模式变化的研究 会议论文
全国薄膜技术学术研讨会
作者:  张文理;  陈光华;  何斌;  朱秀红;  马占洁
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2015/06/24
采用热丝辅助MW-ECRCVD法制备高性能a-Si:H薄膜 会议论文
TFC'05全国薄膜技术学术研讨会
作者:  张文理;  陈光华;  何斌;  朱秀红;  马占洁
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2015/06/24


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