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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2001 [1]
2000 [1]
学科主题
Applied; P... [2]
Coatings &... [2]
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Chemistry [1]
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Non-Rutherford backscattering studies of SiC/SIMOX structures
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2001, 卷号: 184, 期号: 1-4, 页码: 178-182
Chen,KW
;
Yu,YH
;
Lei,YM
;
Cheng,LL
;
Sundaraval,B
;
Luo,EZ
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
;
Chen,LZ
;
Ren,CX
;
Zou,SC
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提交时间:2012/03/24
H FILMS
Compositional and structural studies of DC magnetron sputtered SiC films on Si(111)
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2000, 卷号: 365, 期号: 1, 页码: 53-57
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Ren,CX
;
Zou,SC
;
Chen,DH
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
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提交时间:2012/03/24
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