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上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2003 [1]
学科主题
Condensed ... [1]
Materials ... [1]
Multidisci... [1]
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学科主题:Condensed Matter
学科主题:Materials Science
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Low temperature PECVD SiNx films applied in OLED packaging
期刊论文
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY, 2003, 卷号: 98, 期号: 3, 页码: 248-254
Huang,WD
;
Wang,XH
;
Sheng,M
;
Xu,LQ
;
Stubhan,F
;
Luo,L
;
Feng,T
;
Wang,X
;
Zhang,FM
;
Zou,SC
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提交时间:2012/03/24
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