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CMOS集成电路用Φ150-200mm外延硅材料 期刊论文
半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 12, 页码: 1538
王启元; 林兰英; 何自强; 龚义元; 蔡田海; 郁元桓; 何龙珠; 高秀峰; 王建华; 邓惠芳
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