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长春光学精密机械与物... [2]
半导体研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2020 [3]
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Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2021/07/06
原子与分子物理学
分子动力学
反射
再溅射
Mo/Si原子
角度分布
能量分布
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
收藏
  |  
浏览/下载:7/0
  |  
提交时间:2021/07/06
薄膜
Mo/Si多层膜
极紫外光刻
磁控溅射
表面粗糙度
功率谱密度
Extrinsic Photoconduction Induced Short‐Wavelength Infrared Photodetectors Based on Ge‐Based Chalcogenides
期刊论文
Small, 2020, 卷号: 17, 页码: 2006765
作者:
Ting He
;
Zhen Wang
;
Ruyue Cao
;
Qing Li
;
Meng Peng
;
Runzhang Xie
;
Yan Huang
;
Yang Wang
;
Jiafu Ye
;
Peisong Wu
;
Fang Zhong
;
Tengfei Xu
;
Hailu Wang
;
Zhuangzhuang Cui
;
Qinghua Zhang
;
Lin Gu
;
Hui-Xiong Deng
;
He Zhu
;
Chongxin Shan
;
Zhongming Wei
;
Weida Hu
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2021/05/21
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