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Necessity of resist model in source mask optimization for negative tone development process 期刊论文
J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 2017
作者:  Wei YY(韦亚一);  Dong LS(董立松);  Zhao LJ(赵利俊);  Chen WH(陈文辉);  Ye TC(叶甜春)
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2018/06/08
Mitigating the influence of wafer topography on the implantation process in optical lithography 期刊论文
Optics Letter, 2017
作者:  Su XJ(苏晓菁);  Dong LS(董立松);  Chen WH(陈文辉);  Fan TA(范泰安);  Wei YY(韦亚一)
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2018/06/08
New alignment mark designs in single patterning and self-aligned double patterning 期刊论文
Microelectronic Engineering, 2017
作者:  Zhang LB(张利斌);  Dong LS(董立松);  Su XJ(苏晓菁);  Wei YY(韦亚一);  Ye TC(叶甜春)
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2018/07/09
New alignment mark design structures for higher diffraction order wafer quality enhancement 会议论文
作者:  Wei YY(韦亚一);  Zhang LB(张利斌);  Dong LS(董立松);  Su XJ(苏晓菁);  Ye TC(叶甜春)
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2018/07/26
Observation of Lambda(+)(c) -> nK(S)(0)pi(+) 期刊论文
PHYSICAL REVIEW LETTERS, 2017, 卷号: 118, 期号: 1-11
作者:  Ablikim, M;  Achasov, MN;  Ahmed, S;  Ai, XC;  Albayrak, O
收藏  |  浏览/下载：170/0  |  提交时间：2017/05/09
Evidence of Two Resonant Structures in e(+)e(-)->pi(+) pi(-) h(c) 期刊论文
PHYSICAL REVIEW LETTERS, 2017, 卷号: 118, 期号: 1-9
作者:  Ablikim, M;  Achasov, MN;  Ahmed, S;  Ai, XC;  Albayrak, O
收藏  |  浏览/下载：150/0  |  提交时间：2017/05/09
Precise Measurement of the e(+)e(-) ->pi(+)pi(-) J/psi Cross Section at Center-of-Mass Energies from 3.77 to 4.60 GeV 期刊论文
PHYSICAL REVIEW LETTERS, 2017, 卷号: 118, 期号: 1-9
作者:  Ablikim, M;  Achasov, MN;  Ahmed, S;  Ai, XC;  Albayrak, O
收藏  |  浏览/下载：159/0  |  提交时间：2017/05/09
Hotspots fixing flow in NTD process by using DTCO methodology at 10nm metal 1 layer 会议论文
作者:  Wei YY(韦亚一);  Ye TC(叶甜春);  Chen Y(陈颖);  Lin JX(林佳欣);  Dong LS(董立松)
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2018/07/26
Enhancing manufacturability of standard cells by using DTCO methodology 会议论文
作者:  Su XJ(苏晓菁);  Chen Y(陈颖);  Zhao LJ(赵利俊);  Su YJ(粟雅娟);  Wei YY(韦亚一)
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2018/07/26
Amplitude analysis of the chi(c1) -> eta pi(+)pi(-) decays 期刊论文
PHYSICAL REVIEW D, 2017, 卷号: 95, 期号: 1-3
作者:  Ablikim, M;  Achasov, MN;  Ahmed, S;  Ai, XC;  Albayrak, O
收藏  |  浏览/下载：131/0  |  提交时间：2017/05/09

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