QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2015    专题：西安交通大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A Novel Capacitive Micromachined Transducer for Micro-pressure Measurement 会议论文 作者:  Li, Zhikang;  Zhao, Libo;  Hu, Yingjie;  Akhbari, Sina;  Jiang, Zhuangde 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2019/12/02 FEM model  Micro pressure measurement  Michanical amplifier  Resonant frequency shift  Capacitive micromachined transducer   The Fluid Viscosity Measurement Based on Variable Cross-section MEMS Cantilever under Torsional Excitation 会议论文 作者:  Hu, Yingjie;  Zhao, Libo;  Wang, Tongdong;  Zhao, Yulong;  Yuan, Guoying 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/12/02 Torsional resonance  Viscosity  Micro-cantilever  Sensor  MEMS   Fabrication of CMUTs with a Low Temperature Wafer Bonding Technology 会议论文 作者:  Li, Zhikang;  Zhao, Libo;  Jiang, Zhuangde;  Li, Ping;  Hu, Yingjie 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/02 Transition metal layers  Fabrication process  CMUT  wafer bonding  Low temperature