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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2013    专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Influence of tilt moire fringe on alignment accuracy in proximity lithography 期刊论文 OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2013, 卷号: 51, 期号: 4, 页码: 371-381 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng;  Tang, Yan;  Xu, Feng 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2015/04/17 Angular displacement  Phase  Tilt moire fringe  Lithography alignment  Linear displacement   Four-quadrant gratings moire fringe alignment measurement in proximity lithography 期刊论文 OPTICS EXPRESS, 2013, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 3463-3473 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng.;  Zhou, Shaolin;  Tang, Yan 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/04/17 Influence of tilt moiré fringe on alignment accuracy in proximity lithography 期刊论文 Optics and Lasers in Engineering, 2013, 卷号: 51, 期号: 4, 页码: 371-381 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng;  Tang, Yan;  Xu, Feng 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2016/11/23 Four-quadrant gratings moiré fringe alignment measurement in proximity lithography 期刊论文 Optics Express, 2013, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 3463-3473 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, JunshenG.;  Zhou, Shaolin;  Tang, Yan 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/23