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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2013    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Chemical-Mechanical Polishing of Bulk Tungsten Substrate 其他 2013-01-01 Luo, Jin; Zhang, Yiming; Song, Lu; Chen, Shuhui; Bian, Yuan; Li, Tianyu; Hao, Yilong; Chen, Jing 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/16 CMP  tungsten  average surface roughness  the platen rotational speed   In-situ measurement of ion angular distribution in bulk titanium DRIE for modeling the etch profile 其他 2013-01-01 Hu, Jia; He, Shuwei; Zhang, Yiming; Chen, Jing 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 IAD  SU-8  overhang  stiction  DRIE  model