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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2013    内容类型：专利     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Cell-level integrated plasma etching simulation method, involves simulating movement state of ions in space of particle, activating level set function for carrying smooth etching process, and reconstructing initial level set function. 专利 申请日期: 2013-01-01, 公开日期: 2013-04-24 作者:  DAI Z YAN P YANG M YAN J ZHANG S 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/13