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科研机构
兰州化学物理研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2013 [2]
学科主题
材料科学与物理化学 [2]
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发表日期:2013
学科主题:材料科学与物理化学
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基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜结构及性能的影响
期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 29-35
作者:
胡明
;
高晓明
;
张立平
;
伏彦龙
;
杨军
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2013/12/11
ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜
基体偏压
微观结构
机械及摩擦学性能
ZrN/α-SiNx nanoscaled multilayer films
bias voltage
mirostructure
mechanical and tribological properties
中频磁控溅射制备不同S/W 原子比WSx薄膜的结构和摩擦学性能研究
期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 507-513
作者:
徐书生
;
高晓明
;
胡明
;
孙嘉奕
;
翁立军
收藏
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浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2013/12/23
中频磁控溅射
WSx薄膜
S/W原子比
摩擦磨损
medium frequency magnetron sputtering
WSx film
S/W ratio
friction and wear
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