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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2012    专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Isotropic Silicon Etching With XeF2 Gas for Wafer-Level Micromachining Applications 期刊论文 journal of microelectromechanical systems, 2012 Xu, Dehui; Xiong, Bin; Wu, Guoqiang; Wang, Yuchen; Sun, Xiao; Wang, Yuelin 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/12 Design rule  isotropic etching  microelectromechanical systems (MEMS)  micromachining  wafer level  XeF2 gas  APERTURE SIZE  MEMS  SIMULATION  SENSORS  VAPOR   新疆西北天山京希-伊尔曼德金矿矿床地质特征 其他 2012-01-01 孙德慧; 朱永峰 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 金矿床 地质特征 矿物成分 成矿作用