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科研机构
西安交通大学 [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2011 [1]
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发表日期:2011
内容类型:会议论文
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The relationship between residual stress and resistivity of Au/NiCr/Ta multi-layered metallic films by magnetron sputtering
会议论文
作者:
Tang, Wu
;
Wang, Xuehui
;
Chao, Yipeng
;
Xu, Kewei
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提交时间:2019/12/10
Residual stress
Au/NiCrfTa film
Resistivity
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