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Sb-rich Si-Sb-Te Phase-Change Material for Phase-Change Random Access Memory Applications 期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2011, 卷号: 58, 期号: 12, 页码: 4423-4426
Wu,LC; Zhou,XL; Song,ZT; Zhu,M; Cheng,Y; Rao,F; Song,SN; Liu,B; Feng,SL
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Design and Fabrication of Dual-Trench Epitaxial Diode Array for High-Density Phase-Change Memory 期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2011, 卷号: 32, 期号: 8, 页码: 1014-1016
Zhang,C; Song,ZT; Wu,GP; Liu,B; Wan,XD; Wang,L; Wang,LH; Yang,ZY; Chen,B; Feng,SL
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/04/10
Metal-Grating-Coupled Terahertz Quantum-Well Photodetectors 期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2011, 卷号: 32, 期号: 5, 页码: 659-661
Zhang,R; Guo,XG; Song,CY; Buchanan,M; Wasilewski,ZR; Cao,JC; Liu,HC
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/04/10
Influence of pH and abrasive concentration on polishing rate of amorphous Ge2Sb2Te5 film in chemical mechanical polishing 期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 11020
Zhang,ZF; Liu,WL; Song,ZT
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/04/10
Effect of hydrogen peroxide concentration on surface micro- roughness of silicon wafer after final polishing 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2011, 卷号: 88, 期号: 6, 页码: 1010-1015
Wang,HB; Song,ZT; Liu,WL; Kong,H
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/04/10
Effect of mechanical process parameters on friction behavior and material removal during sapphire chemical mechanical polishing 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2011, 卷号: 88, 期号: 9, 页码: 3020-3023
Zhang,ZF; Yan,WX; Zhang,L; Liu,WL; Song,ZT
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/04/10
Design and Fabrication of Dual-Trench Epitaxial Diode Array for High-Density Phase-Change Memory 期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2011, 卷号: 32, 期号: 8, 页码: 1014-1016
Zhang, C; song, zt(重点实验室）; Wu, GP; Liu, B(重点实验室）; Wan, XD; Wang, L; Wang, LH; Yang, ZY; Chen, B; Feng, SL(重点实验室）
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