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科研机构
上海微系统与信息技... [36]
内容类型
期刊论文 [36]
发表日期
2010 [36]
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共36条,第1-10条
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发表日期:2010
专题:上海微系统与信息技术研究所
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75
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A generic numerical model for detection of terahertz radiation in MOS field-effect transistors
期刊论文
SOLID-STATE ELECTRONICS, 2010, 卷号: 54, 期号: 8, 页码: 791-795
Wang, YL
;
Yan, ZF
;
Zhu, JX
;
Zhang, LN
;
Lin, XN
;
He, J
;
Cao, JC
;
Chan, MS
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/24
2-DIMENSIONAL ELECTRON FLUID
CURRENT INSTABILITY
RESONANT DETECTION
INVERSION-LAYERS
DC CURRENT
A voltage biased superconducting quantum interference device bootstrap circuit
期刊论文
SUPERCONDUCTOR SCIENCE & TECHNOLOGY, 2010, 卷号: 23, 期号: 6, 页码: 65016-65016
Xie,XM
;
Zhang,Y
;
Wang,HW
;
Wang,YL王永良
;
Muck,M
;
Dong,H
;
Krause,HJ
;
Braginski,AI
;
Offenhausser,A
;
Jiang,MH
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2012/03/24
MAGNETOMETER
ELECTRONICS
Electric double layer effect in a nano-scale SiO2 sacrificial layer etching process and its application in nanowire fabrication
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 卷号: 20, 期号: 10, 页码: 105021-105021
Gong, YB
;
Dai, PF
;
Gao, AR
;
Li, T
;
Zhou, P
;
Wang, YL
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2011/12/17
Low-temperature Au-Si wafer bonding
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 卷号: 20, 期号: 9, 页码: 95014-95014
Jing, ER
;
Xiong, B
;
Wang, YL
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2011/12/17
GOLD
Self-assembly and transfer of photoresist suspended over trenches for microbeam fabrication in MEMS
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 卷号: 20, 期号: 11, 页码: 115014-115014
Wu, ZY
;
Yang, H
;
Li, XX
;
Wang, YL
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2011/12/17
COMPONENTS
Single wafer fabrication of a symmetric double-sided beam-mass structure using DRIE and wet etching by a novel vertical sidewall protection technique
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 卷号: 20, 期号: 11, 页码: 115009-115009
Zhou, XF
;
Che, LF
;
Xiong, B
;
Fan, KB
;
Wang, YL
;
Wang, ZK
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2011/12/17
ALKALINE-SOLUTIONS
SILICON
KOH
TMAH
SI(100)
SURFACE
A novel electrostatic-driven tuning fork micromachined gyroscope with a bar structure operating at atmospheric pressure
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 15025-15025
Che,LF
;
Xiong,B
;
Li,YF
;
Wang,YL
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2011/12/17
Horizontally aligned single-walled carbon nanotubes can bridge wide trenches and climb high steps
期刊论文
CHEMICAL ENGINEERING JOURNAL, 2010, 卷号: 157, 期号: 2-3, 页码: 590-597
Rao, FB
;
Zhou, YX
;
Li, TE
;
Wang, YL
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浏览/下载:62/0
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提交时间:2011/12/17
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
R-PLANE SAPPHIRE
GROWTH-MECHANISM
LARGE-SCALE
LONG
TRANSISTORS
ARRAYS
CATALYSTS
SENSORS
Modeling of Front-Etched Micromachined Thermopile IR Detector by CMOS Technology
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2010, 卷号: 19, 期号: 6, 页码: 1331-1340
Xu, DH
;
Xiong, B
;
Wang, YL
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2011/12/17
STATE TEMPERATURE DISTRIBUTION
THERMOELECTRIC SENSORS
MICROSENSORS
OPTIMIZATION
PERFORMANCE
MEMS
Low-Temperature Wafer Bonding Based on Gold-Induced Crystallization of Amorphous Silicon
期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2010, 卷号: 31, 期号: 9, 页码: 1011-1013
Jing, ER
;
Xiong, B
;
Wang, YL
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2011/12/17
INDUCED LATERAL CRYSTALLIZATION
METAL-INDUCED CRYSTALLIZATION
THIN-FILM
ALUMINUM
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