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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高精度平面子孔径拼接算法研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  朱鹏辉 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/11/28 大口径平面  干涉测量  子孔径拼接  累积误差  伪剪切干涉   光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  李永 收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2016/11/28 干涉测量  子孔径拼接  误差累积  高反射率平面  45°平面镜   一种修正子孔径拼接中系统误差的方法 期刊论文 激光与光电子学进展, 2014, 卷号: 51, 期号: 5, 页码: 51202 作者:  周游;  王青;  刘世杰 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/28 子孔径拼接  系统误差  三面互检  Zernike多项式拟合   一种修正子孔径拼接中系统误差的方法 期刊论文 激光与光电子学进展, 2014, 卷号: 51, 期号: 5, 页码: 51202 作者:  周游;  王青;  刘世杰 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2016/11/28 子孔径拼接  系统误差  三面互检  Zernike多项式拟合   一种修正子孔径拼接中系统误差的方法 期刊论文 激光与光电子学进展, 2014, 卷号: 51, 期号: 5, 页码: 51202 作者:  周游;  王青;  刘世杰 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/25 子孔径拼接  系统误差  三面互检  Zernike多项式拟合   光刻机照明均匀化技术的研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012 作者:  肖艳芬 收藏  |  浏览/下载：316/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻机  照明系统  微透镜阵列  光束均匀化  均匀性检测   星间激光通信性能的地面检测与验证技术研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2005 作者:  万玲玉 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/28 星间激光通信  检测与验证  远距离传输模拟  波前采样  误码率夫琅和费衍射图样  像散