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Shearing interferometric electron beam imaging based on ptychographic iterative engine method 期刊论文
物理学报, 2017, 卷号: 66, 期号: 13
作者:  Liu C(刘诚);  Li YJ(李元杰);  He XL(何小亮);  Kong Y(孔艳);  Wang SY(王绶玙)
收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2017/12/25
Shearing interferometric electron beam imaging based on ptychographic iterative engine method 期刊论文
物理学报, 2017, 卷号: 66, 期号: 13
作者:  Li YJ(李元杰);  He XL(何小亮);  Kong Y(孔艳);  Wang SY(王绶玙);  Liu C(刘诚)
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Polarization phase-shifting lateral shearing interferometer with two polarization beam splitter plates 期刊论文
Opt. Rev., 2017, 卷号: 24, 期号: 4, 页码: 600
作者:  Gu, Liyuan;  Liu, Lei;  Hu, Shiyu;  Zeng, Aijun;  Huang, Huijie
收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2017/12/25
Simple phase shifting lateral shearing interferometer based on a thick birefringent plate 期刊论文
J. Opt. Technol., 2017, 卷号: 84, 期号: 4, 页码: 260
作者:  Liu, Lei;  Huang, Huijie;  Zhu, Linglin;  Zeng, Aijun;  Hu, Shiyu
收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2017/12/25
Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry 期刊论文
Appl. Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 1, 页码: 61
作者:  Wang, Xiangzhao;  Bu, Yang;  Zheng, Yazhong;  Dai, Fengzhao
收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2017/12/25
Polarization phase-shifting lateral shearing interferometer with two polarization beam splitter plates 期刊论文
Opt. Rev., 2017, 卷号: 24, 期号: 4, 页码: 600
作者:  Gu, Liyuan;  Liu, Lei;  Hu, Shiyu;  Zeng, Aijun;  Huang, Huijie
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2017/12/25
Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry 期刊论文
Appl. Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 1, 页码: 61
作者:  Bu, Yang;  Dai, Fengzhao;  Zheng, Yazhong;  Wang, Xiangzhao
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/12/25
Simple phase shifting lateral shearing interferometer based on a thick birefringent plate 期刊论文
J. Opt. Technol., 2017, 卷号: 84, 期号: 4, 页码: 260
作者:  Gu, Shuaiyan;  Liu, Lei;  Hu, Shiyu;  Zeng, Aijun;  Zhu, Linglin
收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2017/12/25
光栅剪切干涉波前测量技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  李杰
收藏  |  浏览/下载：209/0  |  提交时间：2016/11/28
基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  方伟
收藏  |  浏览/下载：121/0  |  提交时间：2016/11/28

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