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上海光学精密机械研... [16]
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专题:上海光学精密机械研究所
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多片式气冷钕玻璃放大器热效应控制技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
张玉奇
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2016/11/28
激光技术
多片式气冷激光器
热效应
波前畸变
退偏损耗
倾斜/旋转紫外光刻技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
何骏
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2016/11/28
倾斜/旋转紫外光刻
仿真模型
MEMS
衍射
掩模优化
1.6 微米E r : YAG 透明陶瓷激光技术
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
张笑琪
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浏览/下载:62/0
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提交时间:2016/11/28
Er:YAG 透明陶瓷
石墨烯
调 Q 激光
1.6 微米
人眼安全
Study on measurement of medium and low spatial wavefront errors of long focal length lens
期刊论文
chin. opt. lett., 2014, 卷号: 12, 页码: s21203
作者:
Jin, Chunxiang
;
Liu, Shijie
;
Zhou, You
;
Xu, Xueke
;
Wei, Chaoyang
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/11/28
Study on measurement of medium and low spatial wavefront errors of long focal length lens
期刊论文
chin. opt. lett., 2014, 卷号: 12, 页码: s21203
作者:
Jin, Chunxiang
;
Liu, Shijie
;
Zhou, You
;
Xu, Xueke
;
Wei, Chaoyang
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2016/11/28
共轭距可变的光刻投影物镜光学设计
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 4, 页码: 416003
作者:
蔡燕民
;
王向朝
;
黄惠杰
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2016/11/28
光学设计
成像系统
光刻投影物镜
远心光路
共轭距
共轭距可变的光刻投影物镜光学设计
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 4, 页码: 416003
作者:
蔡燕民
;
王向朝
;
黄惠杰
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2016/11/28
光学设计
成像系统
光刻投影物镜
远心光路
共轭距
共轭距可变的光刻投影物镜光学设计
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 4, 页码: 416003
作者:
蔡燕民
;
王向朝
;
黄惠杰
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2016/11/25
光学设计
成像系统
光刻投影物镜
远心光路
共轭距
Compact design of projection lens for 3D profilometry based on interferometric fringes
期刊论文
optik, 2013, 卷号: 124, 期号: 3, 页码: 209
作者:
Zhu, Yongjian
;
Pan, Weiqing
;
Sun, Jianfeng
;
Li, Anhu
;
Li, Yong
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2016/11/28
星敏感器光学系统的研制与性能测试
期刊论文
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 522005
作者:
李璟
;
杨宝喜
;
胡中华
;
肖艳芬
;
黄惠杰
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2016/11/28
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