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上海光学精密机械研... [22]
内容类型
期刊论文 [13]
学位论文 [6]
会议论文 [3]
发表日期
2016 [1]
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专题：上海光学精密机械研究所
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高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
沈丽娜
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浏览/下载：146/0
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提交时间：2016/11/28
光刻机
矢量成像模型
偏振像差
泡利-泽尼克系数
偏振像差检测
Analytical analysis of the impact of polarization aberration of projection lens on lithographic imaging
期刊论文
j. micro-nanolithogr. mems moems, 2015, 卷号: 14, 期号: 4, 页码: 43504
作者:
Shen, Lina
;
Li, Sikun
;
Wang, Xiangzhao
;
Yan, Guanyong
收藏
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浏览/下载：14/0
|
提交时间：2016/11/28
Analytical analysis for impact of polarization aberration of projection lens on lithographic imaging quality
会议论文
conference on optical microlithography xxviii
作者:
Shen, Lina
;
Li, Sikun
;
Wang, Xiangzhao
;
Yan, Guanyong
收藏
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浏览/下载：13/0
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提交时间：2016/11/28
投影物镜偏振像差对光刻成像质量影响的解析分析方法
期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 6, 页码: 611003
作者:
沈丽娜
;
李思坤
;
王向朝
;
闫观勇
收藏
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浏览/下载：12/0
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提交时间：2016/11/28
In situ aberration measurement method using a phase-shift ring mask
期刊论文
j. micro-nanolithogr. mems moems, 2015, 卷号: 14, 期号: 1, 页码: 11005
作者:
Li, Sikun
;
Wang, Xiangzhao
;
Yang, Jishuo
;
Duan, Lifeng
;
Tang, Feng
收藏
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浏览/下载：13/0
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提交时间：2016/11/28
Aberration measurement technique based on an analytical linear model of a through-focus aerial image
期刊论文
opt. express, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 5623
作者:
Yan, Guanyong
;
Wang, Xiangzhao
;
Li, Sikun
;
Yang, Jishuo
;
Xu, Dongbo
收藏
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浏览/下载：25/0
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提交时间：2016/11/28
NIJBOER-ZERNIKE APPROACH
POINT-SPREAD FUNCTIONS
PHASE-SHIFTING MASK
LITHOGRAPHIC TOOLS
PROJECTION OPTICS
COMA MEASUREMENT
ILLUMINATION
COMPUTATION
In situ aberration measurement method using a phase-shift ring mask
会议论文
27th optical microlithography conference as part of the spie advanced lithography symposium
作者:
Wang, Xiangzhao
;
Li, Sikun
;
Yang, Jishuo
;
Tang, Feng
;
Yan, Guanyong
收藏
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浏览/下载：10/0
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提交时间：2016/11/28
A defocus measurement method for an in situ aberration measurement method using a phase-shift ring mask
会议论文
27th optical microlithography conference as part of the spie advanced lithography symposium
作者:
Li, Sikun
;
Wang, Xiangzhao
;
Yang, Jishuo
;
Tang, Feng
;
Yan, Guanyong
收藏
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浏览/下载：17/0
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提交时间：2016/11/28
Aberration measurement technique based on an analytical linear model of a through-focus aerial image
期刊论文
opt. express, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 5623
作者:
Yan, Guanyong
;
Wang, Xiangzhao
;
Li, Sikun
;
Yang, Jishuo
;
Xu, Dongbo
收藏
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浏览/下载：14/0
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提交时间：2016/11/28
NIJBOER-ZERNIKE APPROACH
POINT-SPREAD FUNCTIONS
PHASE-SHIFTING MASK
LITHOGRAPHIC TOOLS
PROJECTION OPTICS
COMA MEASUREMENT
ILLUMINATION
COMPUTATION
一种基于线性模型的光刻投影物镜偏振像差补偿方法
期刊论文
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 622002
作者:
涂远莹
;
王向朝
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浏览/下载：9/0
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提交时间：2016/11/28
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