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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 合成孔径激光成像雷达时空散斑效应研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014 作者:  许倩 收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2016/11/28 合成孔径激光成像雷达  时空散斑效应  光学接收天线  散斑抑制  目标偏振反射特性   Off-line inspection method of microlens array for illumination homogenization in DUV lithography machine 会议论文 international conference on optical instruments and technology - optoelectronic measurement technology and systems 作者:  Zhang Fang;  Zhu Jing;  Yang Baoxi;  Huang Lihua;  Hu Xiaobang 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/28 固体激光晶化制备多晶硅薄膜 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010 作者:  袁志军 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/28 激光晶化，非晶硅薄膜，多晶硅薄膜，太阳能电池，液晶显示   高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究 学位论文 作者:  程伟林 收藏  |  浏览/下载：115/0  |  提交时间：2018/12/26 高端光刻机照明系统  Advanced lithographic illumination  智能均匀性校正技术  intelligent uniformity correction  手指阵列式均匀性校正技术  finger arreys uniformity correction  阵列式手指驱动技术  finger array driving technology