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Mode suppression in a slanted grating 期刊论文
Opt. Commun., 2017, 卷号: 392, 页码: 73
作者:  Li, Shubin;  Lu, Yancong
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2017/12/25
高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  沈丽娜
收藏  |  浏览/下载：146/0  |  提交时间：2016/11/28
General analytical expressions for the impact of polarization aberration on lithographic imaging under linearly polarized illumination 期刊论文
J. Opt. Soc. Am. A-Opt. Image Sci. Vis., 2016, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 1112
作者:  Zhu, Boer;  Shen, Lina;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/12/25
General analytical expressions for the impact of polarization aberration on lithographic imaging under linearly polarized illumination 期刊论文
J. Opt. Soc. Am. A-Opt. Image Sci. Vis., 2016, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 1112
作者:  Zhang, Heng;  Shen, Lina;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2017/12/25
极紫外光刻含缺陷掩模理论模型的建立和仿真验证 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:  管文超
收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2016/11/28
光参量啁啾脉冲放大(OPCPA)若干关键单元技术的研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:  郭晓杨
收藏  |  浏览/下载：132/0  |  提交时间：2016/11/28
Analytical analysis of the impact of polarization aberration of projection lens on lithographic imaging 期刊论文
j. micro-nanolithogr. mems moems, 2015, 卷号: 14, 期号: 4, 页码: 43504
作者:  Shen, Lina;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Yan, Guanyong
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/28
Analytical analysis for impact of polarization aberration of projection lens on lithographic imaging quality 会议论文
conference on optical microlithography xxviii
作者:  Shen, Lina;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Yan, Guanyong
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28
投影物镜偏振像差对光刻成像质量影响的解析分析方法 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 6, 页码: 611003
作者:  沈丽娜;  李思坤;  王向朝;  闫观勇
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/28
Analytical solution of the transient temperature profile in gain medium of passively Q-switched microchip laser 期刊论文
appl. optics, 2014, 卷号: 53, 期号: 31, 页码: 7540
作者:  Han, Xiahui;  Li, Jianlang
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/28

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