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| 高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 沈丽娜
  收藏 | 浏览/下载：148/0 | 提交时间：2016/11/28
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| Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者: Li SK(李思坤); Zhang H(张恒); Meng ZJ(孟泽江); Zhu BE(诸波尔); Yan GY(闫观勇)
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| Aberration Measurement Method for Hyper-NA Lithographic Projection Lens 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 112002
作者: Zhu BE(诸波尔); Wang XC(王向朝); Li SK(李思坤); Yan GY(闫观勇); Shen LN(沈丽娜)
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| 采用空间像降维的光刻投影物镜偏振像差原位检测方法 会议论文
作者: 孟泽江; 李思坤; 王向朝
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| Aberration Measurement Method for Hyper-NA Lithographic Projection Lens 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 112002
作者: Li SK(李思坤); Wang XC(王向朝); Zhu BE(诸波尔); Duan LF(段立峰); Shen LN(沈丽娜)
收藏 | 浏览/下载：25/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| 采用空间像降维的光刻投影物镜偏振像差原位检测方法 会议论文
作者: 王向朝; 李思坤; 孟泽江
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者: Yan GY(闫观勇); Shen LN(沈丽娜); Wang XC(王向朝); Li SK(李思坤); Zhu BE(诸波尔)
收藏 | 浏览/下载：35/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| 高NA光刻机光瞳整形系统关键技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者: 宋强
收藏 | 浏览/下载：238/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 全光场偏振像差检测装置及... 专利
专利号: ZL2012100911..., 公开日期: 2014-12-17
作者: 曹绍谦; 步扬; 步鹏; 王向...
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2018/12/28 |
| 浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文
作者: 诸波尔
收藏 | 浏览/下载：96/0 | 提交时间：2018/12/26
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