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科研机构
半导体研究所 [13]
内容类型
期刊论文 [9]
会议论文 [4]
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专题:半导体研究所
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Characteristics of SOI rib waveguide microring and racetrack resonators
会议论文
5th ieee international conference on group iv photonics, sorrento, italy, sep 17-19, 2008
Huang, QZ
;
Xiao, X
;
Li, YT
;
Yu, YD
;
Yu, JZ
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浏览/下载:61/0
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提交时间:2010/03/09
Resonators
submicron rib waveguides
silicon-on-insulator
electron beam lithography
Effect of implantation of nitrogen into SIMOX buried oxide on its fixed positive charge density
期刊论文
acta physica sinica, 2007, 卷号: 56, 期号: 9, 页码: 5446-5451
Zheng, ZS (Zheng Zhong-Shan)
;
Zhang, EX (Zhang En-Xia)
;
Liu, ZL (Liu Zhong-Li)
;
Zhang, ZX (Zhang Zheng-Xuan)
;
Li, N (Li Ning)
;
Li, GH (Li Guo-Hua)
收藏
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2010/03/29
SIMOX
Fabrication of nanoscale metallic air-bridges by introducing a SiO2 sacrificial layer
期刊论文
materials science in semiconductor processing, 2007, 卷号: 10, 期号: 39908, 页码: 194-199
Zhang, Y
;
Liu, J
;
Li, Y
;
Yang, FH
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浏览/下载:62/2
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提交时间:2010/03/08
nanoscale metallic air-bridge
sacrificial layer
electron-beam lithography
Fabrication of metallic air bridges using multiple-dose electron beam lithography
期刊论文
Applied physics letters, 2006, 卷号: 88, 期号: 20, 页码: 3
作者:
Girgis, E
;
Liu, J
;
Benkhedar, ML
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2019/05/12
Research on nitrogen implantation energy dependence of the properties of SIMON materials
期刊论文
nuclear instruments & methods in physics research section b-beam interactions with materials and atoms, 2006, 卷号: 242, 期号: 1-2, 页码: 585-587
Zhang EX
;
Sun JY
;
Chen J
;
Chen M
;
Zhang ZX
;
Li N
;
Zhang GQ
;
Wang X
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浏览/下载:285/0
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提交时间:2010/04/11
nitrogen
ion implantation
SIMOX
implantation energy
C-V measurement
CHARGE
OXYGEN
OXIDES
LAYERS
Optical properties of semiconductor quantum-well material using photonic crystal fabricated by micro-fabrication machine
期刊论文
acta physica sinica, 2006, 卷号: 55, 期号: 3, 页码: 1248-1252
Xu XS
;
Xiong ZG
;
Sun ZH
;
Du W
;
Lu L
;
Chen HD
;
Jin AZ
;
Zhang DZ
收藏
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浏览/下载:81/0
  |  
提交时间:2010/04/11
focused ion beam
electron beam lithography
photonic crystal
extraction efficiency
LIGHT EXTRACTION
SLAB
Fabrication of metallic air bridges using multiple-dose electron beam lithography
期刊论文
applied physics letters, 2006, 卷号: 88, 期号: 20, 页码: art.no.202103
作者:
Liu J
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浏览/下载:63/0
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提交时间:2010/04/11
SILICON
VOLTAGE
Strain analysis of InP/InGaAsP wafer bonded on Si by X-ray double crystalline diffraction
期刊论文
materials science and engineering b-solid state materials for advanced technology, 2006, 卷号: 133, 期号: 1-3, 页码: 117-123
Zhao HQ (Zhao Hong-Quan)
;
Yu LJ (Yu Li-Juan)
;
Huang YZ (Huang Yong-Zhen)
;
Wang YT (Wang Yu-Tian)
收藏
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2010/04/11
InP
Si
X-ray double crystalline diffraction
thermal strain
wafer bonding
OPTOELECTRONIC DEVICES
EPITAXIAL OVERGROWTHS
TEMPERATURE
INTERFACE
STRESSES
VCSELS
SURFACES
ENERGY
Wafer bonding technique used for the integration of cubic GaN/GaAs (001) with Si substrate
期刊论文
science in china series e-technological sciences, 2002, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 255-260
作者:
Zhang SM
;
Zhao DG
收藏
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浏览/下载:84/5
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提交时间:2010/08/12
wafer bonding
cubic
GaN/GaAs(001)
Si-substrate
LIGHT-EMITTING-DIODES
P-TYPE GAN
RESISTANCE
CONTACT
LASER
Si-based resonant-cavity-enhanced photodetector
期刊论文
optical engineering, 2001, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 1192-1194
Wang QM
;
Li C
;
Cheng BW
;
Yang QQ
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浏览/下载:95/4
  |  
提交时间:2010/08/12
RCE photodetector
SlGe/Si
SIMOX
Bragg reflector
top-illumination
bottom-illumination
responsivity spectra
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