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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：湖南大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Conduction Properties of SiN Films Depositing by RF Magnetron Sputtering 期刊论文 Applied Mechanics and Materials, 2014, 卷号: Vol.568-570, 页码: 1658-1661 作者:  Zhang, Zai Yu;  Yang, Jian Jun;  Wu, Yan Hui 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/31 Depositing Temperature  Magnetron Sputtering  Resistivity  SiN   Experimental research on preparation of SiN films by magnetron sputtering 会议论文 3rd International Conference on Energy and Environmental Protection, ICEEP 2014, Xi\'an, China, 2014 作者:  Zhang, Zai Yu;  Yang, Jian Jun;  Wu, Yan Hui 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2019/12/31