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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A non-isothermal model for squeeze film damping of rarefied gas 期刊论文 2009 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2009, 页码: 213-216 Yang, H; Cheng, HT; Dai, B; Li, XX; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2011/12/17 POLYSILICON  REGIME  MEMS   Squeeze film air damping in MEMS 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2007, 卷号: 136, 期号: 1, 页码: 3-27 Bao, MH; Yang, H 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/03/24 TORSION MIRROR  VACUUM  MODEL  ACCELEROMETER  POLYSILICON  SIMULATION   Squeeze film air damping in MEMS 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2007, 卷号: 136, 期号: 1 Pages, 页码: 3-27 Bao, MH; Yang, H 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/05/12 Simulation and optimization on the squeeze-film damping of a novel high-g accelerometer 期刊论文 MICROELECTRONICS JOURNAL, 2006, 卷号: 37, 期号: 5, 页码: 383-387 Yang, ZX; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2011/11/08 Squeeze-film air damping of thick hole-plate 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2003, 卷号: 108, 期号: 1-3, 页码: 212-217 Bao, MH; Yang, H; Sun, YC; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/03/24