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科研机构
上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2008 [1]
2001 [1]
1999 [1]
1993 [1]
学科主题
Crystallog... [1]
Engineerin... [1]
Materials ... [1]
Optics; Ph... [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Investigation of the extinction coefficient of PECVD hydrogenated amorphous silicon nitride films
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008, 卷号: 18, 期号: 8, 页码: 85001-85001
Yan, X
;
Feng, F
;
Yang, GL
;
Wang, YL
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2011/12/17
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
THIN-FILMS
PLASMA
ABSORPTION
MIXTURES
MODEL
High surface area anatase titania nanoparticles prepared by MOCVD
期刊论文
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY, 2001, 卷号: 86, 期号: 3, 页码: 185-188
Sun, YJ
;
Li, AZ
;
Qi, M
;
Zhang, LY
;
Yao, X
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
GAN BUFFER LAYER
PHASE-TRANSFORMATION
TIO2
HYDROLYSIS
GROWTH
THERMOPHORESIS
EVOLUTION
SUBSTRATE
MEMBRANES
Molecular dynamics simulation of C2H2 deposition on diamond (001)-(2x1) surface
期刊论文
EUROPEAN PHYSICAL JOURNAL D, 1999, 卷号: 5, 期号: 1, 页码: 83-88
Zhu, WJ
;
Pan, ZY
;
Ho, YK
;
Man, ZY
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/25
CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION
GROWTH-MECHANISM
PLASMA
PRESSURE
METHYL
ENERGY
CVD
SINGLE-CRYSTALLINE DIAMOND FILM GROWTH
期刊论文
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 1993, 卷号: 129, 期号: 3-4, 页码: 774-776
WANG, QM
;
CHEN, QG
;
SHI, RH
;
ZHU, WB
;
DONG, QW
;
DONG, RK
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提交时间:2012/03/25
CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION
PLASMA
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