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科研机构
上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2003 [1]
2002 [1]
2001 [1]
学科主题
Engineerin... [2]
Physics, A... [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Linear and third-order nonlinear optical absorption of amorphous Ge nanoclusters embedded in Al2O3 matrix synthesized by electron-beam coevaporation
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 82, 期号: 19, 页码: 3162-3164
Wan, Q
;
Lin, CL
;
Zhang, NL
;
Liu, WL
;
Yang, G
;
Wang, TH
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提交时间:2012/03/24
Z-SCAN DETERMINATION
ION-IMPLANTATION
VISIBLE PHOTOLUMINESCENCE
SI NANOCRYSTALS
SILICA MATRIX
FILMS
LUMINESCENCE
Increased thickness of buried oxide layer of silicon on insulator in separation by implantation of oxygen with water plasma
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2002, 卷号: 20, 期号: 4, 页码: 1570-1573
Chen, J
;
Chen, M
;
Dong, YM
;
Wang, X
;
Zheng, ZH
;
Wang, X
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提交时间:2012/03/24
ION-IMPLANTATION
HIGH-TEMPERATURE
DIFFUSION
HYDROGEN
MECHANISM
OXIDATION
SIMOX
SIO2
Effect of implantation energy on the microstructure evolution of low dose separation of implanted oxygen wafers
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2001, 卷号: 19, 期号: 2, 页码: 337-343
Chen, M
;
Chen, J
;
Zheng, W
;
Li, L
;
Mu, HC
;
Lin, ZX
;
Yu, YH
;
Wang, X
;
Wang, GY
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提交时间:2012/03/24
ION-IMPLANTATION
LAYER FORMATION
SIMOX
SILICON
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