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基于金硅原电池保护电容加速度计的制作 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 133-136
王辉; 吴燕红; 杨恒
收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2013/02/22
凹槽中焊接实现焊料倒扣焊的工艺方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101996906A, 申请日期: 2011-03-30, 公开日期: 2011-03-30
曹毓涵; 罗乐; 徐高卫; 袁媛
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06
一种制备悬空应变材料的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101958238A, 申请日期: 2011-01-26, 公开日期: 2011-01-26
张苗; 张波; 王曦; 薛忠营; 魏星; 武爱民
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/01/06
Single wafer fabrication of a symmetric double-sided beam-mass structure using DRIE and wet etching by a novel vertical sidewall protection technique 期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 卷号: 20, 期号: 11, 页码: 115009-115009
Zhou, XF; Che, LF; Xiong, B; Fan, KB; Wang, YL; Wang, ZK
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2011/12/17
Quad-cantilever microsensors with a low-cost single-sided micro-machining technique for trace chemical vapor detection 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2010, 卷号: 87, 期号: 11, 页码: 2317-2322
Yang, YL; Chen, Y; Xu, PC; Li, XX
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2011/12/17
微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器阵列及真空封装技术研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010
李艳龙
收藏  |  浏览/下载：133/0  |  提交时间：2012/03/06
MEMS器件圆片级芯片尺寸气密封装的结构及实现方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101434374, 申请日期: 2009-05-20, 公开日期: 2009-05-20
曹毓涵; 罗乐
收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/01/06
Fabrication of Submicron Beams with Galvanic Etch Stop for Si in TMAH 期刊论文
SENSORS, 2009, 卷号: 9, 期号: 4, 页码: 2470-2477
Lu, R; Wu, YH; Cheng, HT; Yang, H; Li, XX; Wang, YL
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2011/12/17
Fabrication of Submicron Beams with Galvanic Etch Stop for Si in TMAH 期刊论文
SENSORS, 2009, 卷号: 9, 期号: 1 Pages, 页码: 2470-2477
Lu, R; Wu, YH; Cheng, HT; Yang, H; Li, XX; Wang, YL
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/05/12
电子束蒸发玻璃薄膜中间层的阳极键合研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2008, 期号: 02
沈伟东; 吴亚明; 章岳光; 刘旭; 顾培夫
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