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上海微系统与信息技... [27]
内容类型
期刊论文 [27]
发表日期
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Active roles of helium in the growth of hydrogenated microcrystalline silicon germanium thin films
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2012, 卷号: 520, 期号: 18, 页码: 5940-5945
Zhang, LP
;
Zhang, JJ
;
Zhang, X
;
Cao, Y
;
Zhao, Y
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2013/04/24
Helium dilution
mu c-SiGe:H
Atomic H
Excitation transfer effect
Optical emission spectroscopy
Growth of graphene-like thin films at low temperature by dual-frequency capacitively coupled plasma
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2012, 卷号: 258, 期号: 19, 页码: 7751-7754
Xu, YJ
;
Wu, XM
;
Ye, C
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2013/04/17
Graphene-like films
DF-CCP
CVD
Annealing
EPITAXIAL LATERAL OVERGROWTH OF GaN ON SILICON-ON-INSULATOR
期刊论文
MODERN PHYSICS LETTERS B, 2009, 卷号: 23, 期号: 15, 页码: 1881-1887
Zhang, B
;
Chen, J
;
Wang, X
;
Wu, AM
;
Luo, JX
;
Wang, X
;
Zhang, MA
;
Wu, YX
;
Zhu, JJ
;
Yang, H
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2011/11/04
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
LIGHT-EMITTING-DIODES
SI(111)
FILMS
REDUCTION
GROWTH
SUBSTRATE
STRESS
Smooth Surface Morphology of Hydrogenated Amorphous Silicon Film Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
期刊论文
PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 569-575
Yan, X
;
Feng, F
;
Zhang, J
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/24
A-SI-H
THIN-FILMS
ION-BOMBARDMENT
LOW-TEMPERATURE
SILANE PLASMA
GROWTH
PECVD
DIFFUSION
ROUGHNESS
FREQUENCY
Electrically Pumped Room-Temperature Pulsed InGaAsP-Si Hybrid Lasers Based on Metal Bonding
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2009, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 64211-64211
Chen, T
;
Hong, T
;
Pan, JQ
;
Chen, WX
;
Cheng, YB
;
Wang, Y
;
Ma, XB
;
Liu, WL
;
Zhao, LJ
;
Ran, GZ
;
Wang, W
;
Qin, GG
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION
WAVE-GUIDE CIRCUIT
DOUBLE HETEROSTRUCTURES
SILICON SUBSTRATE
CW OPERATION
WAFER
DEVICES
FILMS
Low-temperature synthesis and photocatalytic properties of ZnO nanotubes by thermal oxidation of Zn nanowires
期刊论文
NANOTECHNOLOGY, 2008, 卷号: 19, 期号: 4, 页码: 45605-45605
Lu, HB
;
Li, H
;
Liao, L
;
Tian, Y
;
Shuai, M
;
Li, JC
;
Fhu, M
;
Fu, Q
;
Zhu, BP
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/24
EXCITONIC STIMULATED-EMISSION
VAPOR-DEPOSITION
OPTICAL-PROPERTIES
CATALYTIC GROWTH
THIN-FILMS
MICROTUBES
NANOBELTS
NANORODS
ARRAYS
Investigation of the extinction coefficient of PECVD hydrogenated amorphous silicon nitride films
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008, 卷号: 18, 期号: 8, 页码: 85001-85001
Yan, X
;
Feng, F
;
Yang, GL
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2011/12/17
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
THIN-FILMS
PLASMA
ABSORPTION
MIXTURES
MODEL
Polarity conversion of hydride vapor phase epitaxy growing GaN via growth interruption modulation
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2008, 卷号: 516, 期号: 12, 页码: 3772-3775
Lei, BL
;
Yu, GH
;
Ye, HH
;
Meng, S
;
Wang, XZ
;
Lin, C
;
Qi, M
;
Li, A
;
Nouet, G
;
Ruterana, P
;
Chen, J
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/24
MOLECULAR-BEAM EPITAXY
OPTICAL-PROPERTIES
0001 SAPPHIRE
DEPENDENCE
FILMS
NITRIDATION
DIRECTION
SURFACES
LAYER
Effect of sulfur passivation on the InP surface prior to plasma-enhanced chemical vapor deposition of SiN(x)
期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2008, 卷号: 23, 期号: 3 Article Number, 页码: 035031
Tang, HJ
;
Wu, XL
;
Xu, QF
;
Liu, HY
;
Zhang, KF
;
Wang, Y
;
He, XR
;
Li, X
;
Gong, HM
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2012/05/12
Synthesis and growth mechanism of Fe-catalyzed carbon nanotubes by plasma-enhanced chemical vapor deposition
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2006, 卷号: 244, 期号: 2, 页码: 327-332
Jiang,J
;
Feng,T
;
Cheng,XH
;
Dai,LJ
;
Cao,GB
;
Jiang,BY
;
Wang,X
;
Liu,XH
;
Zou,SC
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/24
FIELD-EFFECT TRANSISTORS
HYDROGEN PLASMA
EMISSION
NUCLEATION
ACETYLENE
ARRAYS
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