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| 硅玻璃激光键合技术及芯片级原子钟气密性 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
张志强
  收藏 | 浏览/下载：148/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 锯齿型微流道微泵流动特性分析及性能测试 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2012, 期号: 5, 页码: 451-457
关炎芳; 刘春波; 张士雄; 俞正寅
收藏 | 浏览/下载：27/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 新型锯齿流道压电微泵加工制作及试验(英文) 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2010, 期号: 02
关炎芳; 张国贤; 俞正寅
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 电子束蒸发玻璃薄膜中间层的阳极键合研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2008, 期号: 02
沈伟东; 吴亚明; 章岳光; 刘旭; 顾培夫
收藏 | 浏览/下载：31/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 微机械Golay腔型红外探测器的研究 期刊论文
传感器与微系统, 2007, 期号: 03
高翔; 徐静; 赵本刚; 万助军; 吴亚明
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试 期刊论文
半导体学报, 2007, 期号: 09
董培涛; 李昕欣; 张鲲; 吴学忠; 李圣怡; 封松林
收藏 | 浏览/下载：27/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 凸点连接气密封装微机械系统器件的结构及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1817784, 申请日期: 2006-08-16, 公开日期: 2006-08-16
王立春; 罗乐
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 应用BCB材料进行硅-玻璃气密性封装的实验与理论研究 会议论文
第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005
刘玉菲; 刘文平; 李四华; 吴亚明; 罗乐
收藏 | 浏览/下载：96/0 | 提交时间：2012/01/18
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| 智能剥离技术制备单晶SOG材料的研究 期刊论文
功能材料与器件学报, 2003, 期号: 02
宋华清; 石兢; 张苗; 林成鲁
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2012/01/06
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